故技重施!美國正阻止EUV光刻機進入海力士中國廠
2021-11-18 17:25:22閱讀量:631
圖:海力士無錫廠(二期)
三位知情人士稱,事件緣由是SK海力士計劃升級位于中國無錫的DRAM和NAND晶圓廠,同時配備荷蘭ASML最新的極紫外(EUV)光刻機,從而成為全球最先進的存儲器制造廠。
繼特朗普游說荷蘭政府阻止ASML向中芯國際出口EUV后,一位白宮高級官員稱,拜登政府仍然專注于阻止中國利用美國和盟國的技術開發(fā)最先進的半導體制造技術。
圖:SK海力士CEO 李錫熙
據(jù)兩位了解SK海力士的人士透露,ASML光刻機的進口問題在SK海力士內部引起了足夠的關注,以至于首席執(zhí)行官李錫熙在7月訪問華盛頓期間向美國官員提出了這個問題。
但目前似乎并沒有進展,且從本月SK海力士按要求向美國商務部遞交產能和經營信息來看,前景非常不明朗。SK海力士稱正在盡最大努力應對市場和客戶的需求。
之所以EUV進口問題深受各方關注,首先在于無錫廠對全球電子行業(yè)至關重要。數(shù)據(jù)顯示,無錫廠的DRAM芯片產量約占整個SK海力士的50%,占到全球總量的15%。
圖:DRAM技術路線(Tech Insights)
同時,一位了解海力士中國的消息人士表示,隨著新工藝生產的存儲芯片在兩到三年內占據(jù)更大份額,SK海力士將需要借助EUV來降低平均成本、擴充產能,否則將在下個世代落后于三星和美光。
而不同之處在于,三星和美光已經采購了ASML的EUV機器,但并未在中國工廠部署使用。
而影響此事進展的另一方在于ASML,其發(fā)言人曾表示,該公司遵守所有出口管制法律,并將其視為政府確保國家安全的“有效工具”。
VLSIresearch分析稱,這些規(guī)則(指設備出口限制)可能適用于中國的任何芯片制造業(yè)務,無論是外國的還是國內控制的,“任何在中國安裝EUV工具的人都會為中國提供能力”。

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