導讀：7月21日，全球唯一的EUV光刻機供應商——荷蘭ASML(阿斯麥)公布了2021年第二季度財報。

  

圖：Q1-Q2光刻機技術及用途構成

財報顯示，當季ASML凈銷售額40億歐元，毛利率50.9％，凈收入10億歐元。

同時，本季度凈預訂額達到83億歐元創下歷史最高值，其中EUV光刻機就有49億歐元，而總的積壓訂單金額已達175億歐元。

其中，光刻系統的營收達29.49億歐元，較一季度略有下降，但從技術構成來看，二季度EUV產品份額已經大幅增長，占營收的45%。

  

圖：當前出貨主力 NXE:3400C

ASML在財報中還披露，第一臺全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機已經交付給客戶，相比之前的NXE:3400C生產力提高了15%-20％，覆蓋率（套刻精度）提高了約30％。

據悉，該系統整機報價達到了1.45億美元(約合人民幣9.38億元)。不過，ASML未透露接收客戶是哪一家。

  

圖：第一代光刻機 NXE:3400B

目前，ASML 旗下EUV光刻機還是第一代產品，EUV光源波長13.5nm左右，物鏡NA數值孔徑0.33，并發展了一系列型號。

最早量產出廠的是NXE:3400B，產能有限，晶圓產能只有125WPH（片晶圓/小時），目前的出貨主力是NXE:3400C，產能提升到135WPH，而最新的NXE:3600D產能進一步提升到160WPH。

第二代EUV光刻機將會是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進一步提高光刻精度，但原計劃2023年問世，現在推遲到2025-2026年，而價格預計將突破3億美元。